止回閥也為單向閥。停泵的瞬間，因?yàn)檎婵展苈返恼婵崭哂诒们唬瑲怏w會(huì)從排氣口進(jìn)入泵腔，將水壓到真空管路，止回閥作用就是防止水進(jìn)入管路。水環(huán)式真空泵加裝止回閥，主要是起保護(hù)作用:
1、保護(hù)系統(tǒng)，故障停泵的瞬間，真空泵入口和系統(tǒng)連接處是真空狀態(tài)，泵的出口一般與大氣相通，壓力會(huì)將水壓入系統(tǒng)破壞系統(tǒng)真空。為保護(hù)系統(tǒng)通常會(huì)在泵的入口和系統(tǒng)連接處加裝止回閥。
2、保護(hù)真空泵本身，氣體倒灌會(huì)沖擊葉輪，使泵反向旋轉(zhuǎn)，為保護(hù)泵體及其他設(shè)備，一般在泵出口處加裝止回閥。

現(xiàn)在越來(lái)越多的機(jī)組將止回閥安裝到出口，可起到保護(hù)泵和系統(tǒng)的作用。如系統(tǒng)要求嚴(yán)格，也有加裝兩個(gè)止回閥的。止回閥起到一個(gè)止回的作用。由于在真空泵在關(guān)閉了之后，被抽容器處于一個(gè)真空的狀態(tài)，而真空泵泵腔跟周圍環(huán)境的壓力一樣大，由于壓力差的關(guān)系，在我們關(guān)閉真空泵的時(shí)候，真空泵的空氣會(huì)被倒回去被抽容器，倘若我們?cè)诠艿捞幇惭b止回閥，在關(guān)閉真空泵之前關(guān)閉這個(gè)止回閥的話，泵腔的空氣就不會(huì)倒回到被抽容器了。停泵的瞬間，排氣口壓力大于進(jìn)氣口壓力，為了防止水環(huán)泵內(nèi)的水被壓回真空系統(tǒng)，所以在進(jìn)氣口加止回閥。也叫逆止閥或單向閥。